高精度　非接触表面形状測定装置の取扱いを始めました。

「光干渉を用いて、ナノメートル単位の分解能を持つ非接触表面形状の自動測定システムを

ご提供いたします。」

NanoViewは高精度な光学系により、高精度かつ高速な三次元測定機能を実現しております。

三次元形状測定には光干渉（白色光走査型干渉方式と位相シフト干渉方式）を用いることにより、

検査対象の高さ、幅、表面粗さなどを評価・解析することができます。

詳細は、検査装置ページを参照下さい。